小流量气体质量流量计_科威勒
原理&结构
FGM222系列质量流量控制器(Mass Flow Controller) 是基于流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所 开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电 流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、瞬时 流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择:4-20mA 和 1-5V 模拟信号,以及 RS485 等数字 通信方式。
特点
温度和压力不敏感
*的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
采用液晶触控显示和控制
配备高duan比例电磁阀
小流量气体质量流量计_科威勒
应用
半导体加工
燃烧控制室
分析和环保
真空技术
表面处理
食品和制药
化工(石化)等过程控制
技术参数
尺寸图
选型表
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