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KEWILL-超微量气体流量计

KEWILL-超微量气体流量计

简要描述:KEWILL-超微量气体流量计:FGM220 质量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控 制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、 响应速度快、稳 定性好等特点.

产品型号: FGM220

产品品牌:德国KEWILL

更新时间:2021-11-17

厂商性质:生产厂家

详情介绍

KEWILL-超微量气体流量计

原理&结构

FGM220 质量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控 制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、 响应速度快、稳 定性好等特点。 操作 使用方便,可任意位置安装,广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业 。

KEWILL-超微量气体流量计

特点

分析和环保 半导体加工 燃烧控制器 真空技术 表面处理 食品和制药 化工(石化)等过程控制

应用

温度和压力不敏感 优越的零点稳定性 超快的响应速度 良好的重复性和再现性 多种信号输出方式 配备高*比例电磁阀

技术参数

核心参数说明


介质要求:

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类:

空气、氮气、氩气、二氧化碳


氦气、氢气、甲烷、氧气等

量程:

0...50/100/500/1000 SCCM(每分钟标准毫升)


0...5/20 SLM(每分钟标准升)

精度:

1.0% F.S


1.5% F.S.

分辨率:

*低 0.01SCCM(每分钟标准毫升)

响应时间:

≤1S



环境条件


介质温度:

0...50

工作温度:

-20...70

工作湿度:

10%...90%RH(无结冰,无凝露)

工作压力:

0...10bar

储存温度:

-20...85



电气参数


供电电压:

DC24V

功耗:

2.4W

启动时间:

<1S

预热时间:

<10mS


信号类型


模拟信号(电流、电压)


接口类型:

D-SUB 9

电压信号:

0...5V & 1...5V

电流信号:

4...20mA



数字信号(RS485


接口类型:

RJ45D-SUB 9

通信速率:

4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,


115200,28000,230400,256000,460800,500000 (可


通过指令或者上位机修改)

协议:

RS485(默认 Modbus-RTU协议)

设备地址:

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

*大节点数:

250



机械参数


接头类型:

卡套:8mm12mm


快插:6mm8mm


协议定制

主体材质:

接液底座:阳极氧化铝合金


不锈钢1.4301(不锈钢304)


不锈钢1.4435(不锈钢316L)


外壳:碳钢

密封材质:

FKM 氟橡胶

重量:

:≈0.75kg


不锈钢:≈1.5kg


尺寸图

637666215906536180841.png


选型表

637666215910592024165.png


订货提示

1.订货时请注明介质流向,介质种类,管径及期望测量区间值。我们可在出厂时帮您完成精确校验。2.若是黏性介质,请注明黏度,温度及介质种类。

3.若是气体介质,请注明压力(表压/绝压),温度及介质种类。






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